压力传感器是一种可用于钢铁、化工等领域的压力测量,配合压力调节器可实现压力自动控制。
扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,通过混合扩散,沿单晶硅片上的特性晶向制成应变电阻,形成电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一硅材料上进行各向异性微加工,制成集力敏和力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器膜(不锈钢或陶瓷),使膜产生与介质压力成正比的微位移,传感器的电阻值发生变化,用电子线检测变化,转换输出相应压力的标准测量信号。
1.适用于制造小量程变送器。
硅芯片的力敏电阻压阻效应在零点附近的低范围内没有死区,压力传感器的范围可以小到几个KPA。
2.输出灵敏度高。
硅应变电阻的灵敏度是金属应变计的50~100倍,因此相应传感器的灵敏度很高,一般范围输出约为100mv。因此,对接口电路没有特殊要求,使用更方便。
3.精度高
由于传感器的感觉。敏感转换和检测由同一部分实现,无中间转换环节,重复性和延迟误差小。由于单晶硅本身刚度大,变形小,保证了良好的线性。
4.由于工作单性变形低至微应变数量级,弹性芯片最大位移为亚微米数量级,无磨损、疲劳、老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
5.由于硅的优异化学防腐性能,即使是非隔离的扩散硅压力传感器也能适应各种介质。
6.由于芯片采用集成工艺,且无传动部件,体积小,重量轻。