微型传感器是利用微机械加工技术制造的新型传感器。相比于传统传感器元件，这一类别的传感器凭借其质轻体小、灵敏可靠、易于集成等优良特性，成为推动传感器不断向微型和智能化发展的主要动力；同时也被各大制造商和用户所青睐。
微型传感器有以下五个发展趋势：
1、无源化。
传感器是将非电量转换成电量的设备，电源是传感器中不可或缺的重要部分，把太阳能或风能用芯片收集起来，转换成传感器所需的电源，无线传感模块和芯片的有效结合将会实现MEMS的无源化。
2、微型化。
大众越来越青睐便携式、可佩戴式迷你型设备，消费者需求小型化传感器，集成技术和纳米技术将推进微型传感器的发展。
3、低成本。
传感器往往有成千上万的网络节点数，控制不好单个网络节点数的价格致使传感器网络成本很高。解决好网络结点数并且实用化，助推传感器网络化。
4、安全性和抗干扰能力。
稳定性是衡量传感器性能好坏的重要指标。
传感器网络和其他网络一样也会面临安全威胁。怎样利用最经济合理的手段实现传感器网络安全，微型传感器受到外界干扰时，还能稳定可靠的工作将是发展趋势。
5、节点实现自诊断、自动配置。
由于传感器网络中节点数多，工作时当节点出现故障时，能够迅速找到故障点并且不影响网络的正常使用。将是MEMS 研究的方向。
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