与传统传感器相比，微型传感器具有许多新的特性，可以弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景，越来越受到重视。本文详细介绍了一些微型传感器的结构和原理，阐述了微型传感器的基本功能特点和发展趋势。
微传感器的特点：
由于传统传感器材的制造工艺与半导体IC工艺不兼容，无论是功能、规模还是成本，都无法适应IC技能制造的高速、高密度、小体积、低成本信号处理设备，从而限制了整个系统的集成、批量和功能的充分发挥。
微型传感器不是传统传感器的简单物理缩小产品，而是通过MEMS加工技术制备的新一代传感器材，具有小型化、集成化的特点，具有新的工作机制和物化效应，可以大大提高传感器的功能。信号传输前可以扩大信号，然后减少干扰和传输噪音，提高信噪比；在芯片上集成反应线和补偿线，可以提高输出的线性和频响特性，减少错误，提高灵敏度。
具有阵列性。灵敏元件可以集成在一个芯片上，扩大电路和补偿线路。可以在同一个芯片上集成多个相同的灵敏元件；兼容性突出，便于与微电子设备集成和包装。
使用老练的硅微半导体工艺加工制作，能够批量生产，本钱十分低价。
